| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2012년 가을 (10/31 ~ 11/02, 대전컨벤션센터) |
| 권호 | 16권 2호 |
| 발표분야 | 포스터-환경.에너지 |
| 제목 | non-HF non-gas phase etching solution for glass slimming ; manufacture, chemical physical quality |
| 초록 | LCD산업과 전자산업에서 빼 놓을 수 없는 유리 식각 공정은 주로 불산이 사용된다. 불산은 유리표면을 식각함과 동시에 표면에 잔류한 오염원을 제거하는데 사용되어 왔으나 불산이 가지는 높은 산화력으로 인하여 유리의 과부식으로 인한 투명도 저하 및 표면 조도의 증가, 식각 장치 부식, 유해가스 발생, 폐수처리 곤란 등 많은 문제점을 가지고 있다. 본 연구에서는 HF을 대체하여 산성불화 암모늄을 효과적으로 사용하기 위해 산성불화 암모늄에 무기산, 계명활성제 등을 첨가하여 친환경적 식각용액을 제조하였다. 본 실험은 용액의 조성과 농도에 따른 식각 특성을 조사하고 식각용액의 사용 후 의 재사용여부와 관련된 식각속도 및 이를 극복하는 방안을 연구 하였다. |
| 저자 | 장재민, 이철태, 김정민 |
| 소속 | 단국대 |
| 키워드 | 비불산; 유리식각; 유리에칭; 식각용액; 유리슬라이밍; nonHF; nonhydrofluoric acid; slimming; etching; LCD |
