| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (11/25 ~ 11/27, 부산 해운대그랜드호텔) |
| 권호 | 21권 2호 |
| 발표분야 | A. 전자/반도체 재료 |
| 제목 | Bottom Contact Organic TFT 성능 향상을 위한 연구 |
| 초록 | OTFT의 기본구조는 Top contact과 Bottom contact으로 나눠지는데, top contact OTFT는 bottom contact OTFT에 비해 contact resistance가 작기 때문에 일반적으로 우수한 성능을 가진다. OTFT 공정은 source, drain을 patterning 할 때 일반적으로 shadow mask을 이용하지만 산업용 OTFT를 만들 때는 매우 작은 pattern이 필요하기 때문에 shadow mask를 사용할 수 없다. 이를 대신해 Photolithographic 공정을 사용하는데 top contact OTFT는 이 공정을 사용하면 유기물 반도체에 영향을 끼쳐 유기물 반도체 특성을 저해하기 때문에 Photolithographic 공정을 사용할 수 없다. 반면 bottom contact OTFT는 Photolithographic 공정이 가능하기 때문에 성능의 문제를 개선한다면 산업용 대량생산이 용이하다는 점과, top contact OTFT에 비해 다양한 회로 구성이 편리하다는 장점을 가지고 있다. 앞서 언급했듯이 일반적으로 top contact OTFT가 bottom contact OTFT에 비해 우승한 성능을 가지지만 이번 연구에서는 향상된 성능을 가진 bottom contact OTFT를 만드는 것에 목표를 두었다. Bottom contact OTFT의 기판은 glass를 사용하였고, gate는 Al, insulator에는 PMMA, source-drain에는 Au, semiconductor는 유기반도체인 펜타신을 사용하였다. 공정 과정에서 금속전극에 올라가는 펜타신의 입자크기를 늘리기 위해 PEDOT:PSS와 HMDS를 코팅해주었다, 결과적으로, top contact OTFT에 견줄만한 성능을 가진 bottom contact OTFT를 만들었다. |
| 저자 | 김성웅, 김용상, 맹영동 |
| 소속 | 성균관대 |
| 키워드 | Organic TFT; 펜타신; PMMA; Pedot; HMDS |
