| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 세라믹스 |
| 제목 | 금속촉매의 기상휘발법을 이용한 SiOx 와 Si nanowire의 성장 |
| 초록 | 각종 나노와이어의 성장연구가 국내및 국외에서 활발히 이루어지고 있으며, 산화물 및 질화물 나노로드와 나노와이어의 연구가 꾸분히 진행되었다. 또한 이러한 나노와이어를 이용한 전자소자 및 디스플레이 소자로의 응용연구가 활발히 이루어지고 있으며, 센서 등 새로운 활용분야가 꾸준히 개척되고 있다. SiO2와 Si 나노와이어는 높은 강도와 독특한 물리적, 전기적 특성을 지니고 있어 새로운 연구주제로 떠오르고 있으며, SiC나 다른 탄화물 나노로드의 제조공정과 더불어 coaxial 구조를 가지는 나노와이어를 만들 수 있어, 나노 전기 소자로서 응용이 기대되고 있다. 기존의 여러 공정으로 Si및 SO2 나노와이어의 성장이 보고되었으나, 대부분 VLS 성장기구를 이용한 laser ablastion, arc discharge등의 방법으로 제조되었다. 따라서 본 연구에서는 SiO2 나노와이어의 성장에 SLS (Solid-Liquid-Solid) 성장기구를 도입하여 SiO2와 Si 나노와이어를 성장시켰다. SiO2 나노와이어와 Si 나노와이어의 성장의 선택조건은 반응로안의 분위기와, 촉매금속과 기판에서 용융상태로 공급되는 Si과의 상대적인 반응여부에 따라 달라진다. 또한 성장된 나노와이어의 형상과 결정성, 성장방향등은 각각의 촉매의 고유 특성에 좌우되었으며, 성장길이 또한 변화됨을 알 수 있었다. 광학적 특성평가를 통하여 청색발광현상과 발광 peak의 이동또한 관찰되었으며, 이는 성장특성에 기인한 것으로 여겨진다. 감사의글 : 본 연구는 과학기술부 21세기 프론티어 연구개발사업인 '나노소재기술개발사업단'의 지원으로 수행되었습니다. |
| 저자 | 노대호1, 김재수2, 변동진1, 양재웅3, 진정근1, 김나리1 |
| 소속 | 1고려대, 2한국과학기술(연), 3대진대 |
| 키워드 | SiO2; Si; nano; nanowire |
