| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 봄 (05/26 ~ 05/27, 무주리조트) |
| 권호 | 11권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | 폴리머 기판 위에 형성된 투명전도성 ZnO:Al 박막의 전기적, 광학적 특성평가 |
| 초록 | RF magnetron sputter를 이용하여 상온에서 투명전도성 ZnO:Al 박막을 폴리머 기판(PES, PC, PET) 위에 증착하였다. 기판과 박막의 계면에서의 흡착력을 증진시켜 전기적 특성을 향상시키기 위한 목적으로 Ar plasma 처리하였다. 또한 ZnO:Al 증착시 기판의 손상을 예방하고, 산소확산을 방지하기 위하여 100nm 이하의 SiO2층을 삽입하였다. 본 연구에서는 Ar plasma 처리 와 SiO2 층을 삽입했을 시 ZnO:Al 박막의 전기적, 광학적 특성에 어떤 영향을 미치는지 분석하였다. Ar plasma 처리한 샘플은 계면특성이 향상되어 비저항이 감소되었지만, 투과율은 저하되었다. SiO2층이 삽입된 샘플은 SiO2 층의 두께가 증가할수록 비저항이 증가하였고, 투과율은 감소하였다. |
| 저자 | 신상훈1, 김태훈1, 김진혁2, 김원목1, 이전국1 |
| 소속 | 1한국과학기술(연), 2전남대 |
| 키워드 | TCO; AZO; RF magnetron sputter |
