| 초록 |
Soda-lime glass 기판 위에 스퍼터링 법을 이용하여 다양한 RF 파워에서 SnS2 박막을 증착 한 후, N2 + H2S (5 %) 분위기에서 온도를 300, 350, 400 ℃ 로 하여 한 시간 동안 열처리를 실시하였다. RF 파워와 열처리 온도에 따른 SnS2 박막의 구조적, 표면 형상학적, 광학적 특성의 변화에 미치는 영향을 X-ray Diffractometer (XRD), Scanning Electron Microscope (SEM), UV-Vis spectroscopy를 이용하여 연구하였다. XRD 회절 패턴 결과, 열처리 전 박막은 비정질 상으로 성장하였고, 열처리 후 박막은 hexagonal 상의 (0001) 방향으로 배향성이 향상 된 다결정으로 결정화 되었다. 모든 박막의 표면 형상은 공정 변수에 상관 없이 균일하였고, RF 파워가 증가 할 수록 결정 입자의 크기가 증가하는 경향을 보였다. 열처리 후, 박막의 표면 형상은 열처리 전보다 결정 입자의 크기와 RMS 값이 증가하였고, 박막의 밴드갭 에너지는 2.4 ~ 2.6 eV로 나타났다. |
