학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
권호 | 19권 2호 |
발표분야 | F. 광기능/디스플레이 재료(Optical Functional and Display Materials) |
제목 | SWCNT/AZO nanoparticle composite 전극을 이용한 TFT 특성(Characteristics of TFT with SWCNT/AZO nanoparticle composite electrode) |
초록 | Single-wall carbon nanotube (SWCNT)는 우수한 열 전달특성과 탄성 강도뿐만 아니라, 전기적 특성과 광학적 특성이 뛰어나기 때문에 플렉서블 전극 재료로 많이 연구되고 있다. 현재, SWCNT를 이용한 박막은 진공공정을 이용하여 증착한 박막에 비해 wire와 wire 사이의 junction resistance, parasitic lateral current flow의 발생, work function, adhesion등의 물리적 특성저하의 문제점이 있다. 또한 응용 소자는 대부분 금속과의 접촉이 필요하기 때문에 SWCNT 박막과 금속과의 접합면에서 높은 접촉저항이 발생하여 캐리어의 이동도 소실이 발생하기 때문에 전기적 특성의 저하를 유발한다. 그러므로 소자의 전기적 특성을 높이기 위해서는 work function을 조절하고 wire junction conductance를 향상시키는 것이 필수적이다. 본 연구에서는 SWCNT와 금속 간의 work function을 조절하고 wire junction conductance를 향상시키기 위해 SWCNT/Al-doped ZnO (AZO) nanoparticle composite 전극을 제작하고 thin film transistor (TFT)에 적용하고자 하였다. Spray-coating 공정을 이용하여 SWCNT를 증착하고, AZO nanoparticle을 코팅하여 전극을 형성하였다. AZO nanoparticle의 농도 변화에 따라 UV-vis를 이용하여 전극의 투과도와 면저항을 측정하였으며, 채널물질로 indium-zinc-oxide (IZO)을 증착하여 TFT를 제작하였다. 전극의 특성평가를 위하여 I-V 특성 분석을 통해 Ion/Ioff ratio, 이동도, sub-threshold swing, 문턱전압 등의 전기적 특성과 광학적 특성을 바탕으로 투명전극으로서의 적합성을 평가하였다. |
저자 | 이수정, 박지현, 이태일, 명재민 |
소속 | 연세대 |
키워드 | Single-walled carbon nanotube (SWCNT); Al-doped ZnO (AZO) nanoparticle; Spray coating |