학회 | 한국고분자학회 |
학술대회 | 2005년 가을 (10/13 ~ 10/14, 제주 ICC) |
권호 | 30권 2호 |
발표분야 | 분자전자 부문위원회 |
제목 | Enhancement of Inter-connectivity of Pentacene Thin Films and Its Effect on Field-Effect Mobility |
초록 | 유기박막트랜지스터 (Organic Thin Film Transistor, OTFT)의 유기반도체로 사용되는 pentacene의 절연층 계면에서의 voids나 traps의 존재는 소자의 전기적 특성에 크게 영향을 미친다. 최근 소자의 전기적 특성을 향상시키기 위해 표면처리를 하거나 증착속도, 또는 기판온도를 변화시키면서 이에 따른 소자 성능의 변화에 대한 연구가 많이 진행되었다. 하지만 소자의 특성에 큰 영향을 미치는 계면에서의 void의 존재와 필름의 inter-connectivity에 대한 연구는 체계적으로 이루어지지 않고 있다.1,2 본 연구에서는 pentacene 박막(50nm)을 형성시킬 때 pentacene과 절연층이 이루는 계면에서의 void를 최소화하고 inter- connectivity를 향상시키기 위해 연속적으로 증착 속도를 변화시켜 pentacene층을 형성시켰다. 실험 결과 단일 속도로 pentacene을 증착했을 때보다 속도를 변화시키면서 pentacene을 증착했을 때 더 좋은 FET특성을 얻을 수 있었다. Fig. 1. Schimatic diagram of pentacene film 참고문헌 1. S. Kobayashi et al., Nature, 3, 317 (2004) 2. C. D. Dimitrakopoulos, P. R. L. Malenfant Adv. Mater. vol 14, 99 (2002) 3. Do Hwan Kim, Yeong Don Park, Yunseok Jang, Hoichang Yang and Kilwon Cho, Adv. Fun. Mater, 15, 77 (2005) |
저자 | 이화성, 김도환, 조정호, 조길원 |
소속 | 포항공과대 |
키워드 | pentacene; inter-connectivity; organic thin film transistors |