화학공학소재연구정보센터
학회 한국화학공학회
학술대회 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교)
권호 4권 2호, p.4145
발표분야 이동현상
제목 MOCVD법에 의한 FED용 ZnO:Zn 형광박막 반응해석
초록 ZnO:Zn 형광박막용 low-pressure MOCVD 반응기내에서의 이동현상을 규명하고 이에
따른 증착속도를 전산모사하여 실험결과와 비교 검토하였다.
저자 박일우
소속 광운대
키워드 MOCVD
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