학회 | 한국화학공학회 |
학술대회 | 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
권호 | 4권 2호, p.4145 |
발표분야 | 이동현상 |
제목 | MOCVD법에 의한 FED용 ZnO:Zn 형광박막 반응해석 |
초록 | ZnO:Zn 형광박막용 low-pressure MOCVD 반응기내에서의 이동현상을 규명하고 이에 따른 증착속도를 전산모사하여 실험결과와 비교 검토하였다. |
저자 | 박일우 |
소속 | 광운대 |
키워드 | MOCVD |
원문파일 | 초록 보기 |