| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (10/21 ~ 10/22, 인하대학교) |
| 권호 | 11권 2호, p.2544 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Photocatalysis Studies of TiO2 Thin Film by Thermal Chemical Vapor Deposition using Tetrakis(dimethylamido)titanium (TDMAT) |
| 초록 | 광촉매 특성을 지닌 TiO2박막 제조를 위하여 유기금속 전구체인 TDMAT (Tetrakis(dimethylamido)titanium)를 Thermal CVD(Chemical Vapor Deposition)방법을 사용하여 standard glass 위에 증착을 시켜 보았다. 증착된 TiO2 박막에는 다량의 질소와 탄소가 존재하였다. 일찍이 보고된 사실에 따르면 TiO2 박막에 질소, 탄소 도핑시 가시광선 영역에서도 광촉매 특성을 나타낸 보고가 있으므로 본 실험에서는 Thermal CVD를 통해 증착한 TiO2 박막내에 함유되는 질소, 탄소를 이용하고 열처리 및 플라즈마 후처리 등을 통한 TiO2 박막의 물성변화를 관찰하며 각 조건별 광촉매특성을 평가하였다. 증착온도는 열분해 온도 이상인 325℃에서 이루어 졌으며, 증착된 시편의 각각의 후처리 전후의 전기적 특성, 조성, 결정성, 광촉매 특성에 대하여 살펴보았다. |
| 저자 | 김등관, 김도형 |
| 소속 | 전남대 |
| 키워드 | CVD; TiO2; TDMAT; Photocatalysis |
| 원문파일 | 초록 보기 |
