| 초록 |
TiO2 박막은 우수한 물리적, 화학적, 안정성을 가지고 있으며, 가시광선 영역에서 우수한 투과성을 나타내고 있다. 따라서, 태양전지, 가스센서 등 광범위한 분야에 중요한 물질로 사용 되고 있다. 본 연구에서는 염료감응 태양전지용 blocking TiO2 layer를 RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 FTO (SnO2:F) electrode상과 유리기판상에 증착하고 구조적, 광학적 특성을 분석하였다. TiO2 박막 성막시 RF power, 공정압력에 따른 특성을 분석하여 염료감응 태양전지에 blocking층으로 사용되는 TiO2 박막의 특성을 평가하였다. 특히 TiO2/FTO/Glass 샘플의 열처리 온도 변화에 따른 특성을 평가함으로써 염료감응 태양전지 제작 시 TiO2 박막의 특성 변화를 연구하였다. 공정변화 및 열처리 조건에 따라 먼저 FESEM과 AFM 분석을 통해 TiO2 박막의 표면 특성을 분석하였고, Glancing angle XRD 분석을 통해 TiO2 박막의 구조적 분석을 진행하였다. 또한 UV/VIS spectrometer를 이용하여 투과도를 측정하였다. AES depth profile 분석을 통해 열처리 공정시 TiO2 박막과 FTO 전극 사이에서 일어나는 계면 반응을 분석하여 TiO2 박막의 열처리가 염료감응 태양전지의 특성에 미치는 영향을 연구하였다. 마지막으로 TiO2/FTO/Glass 샘플을 이용하여 염료감응 태양전지를 제작하여 전류와 전압 특성을 이용하여 효율 향상에 미치는 TiO2 blocking층의 영향을 연구하였다. |
