| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2008년 봄 (05/09 ~ 05/10, 한양대학교(안산)) |
| 권호 | 12권 1호 |
| 발표분야 | 화학공정 |
| 제목 | 폐 포토레지스트 스트리퍼로부터 충전증류탑을 이용한 유기용제 재생 |
| 초록 | TFT-LCD 공정에서 발생되는 잔류 고분자 중합체와 웨이퍼에 부착되어 있는 성분을 제거하기 위한 포토레지스트 스트리퍼는 NMP, BDG, MEA 등 다성분계 유기 용매로서 구성되어 있으며 재생공정을 거치지 않고 전량 소각 처리되고 있다. 최근 들어 고가의 유기용매에 대한 공정 운용상의 경제적인 부담으로 인해서 나노 여과, 막투과, 증류 공정을 거쳐 TFT-LCD 공정으로 재순환하기 위한 연구가 광범위하게 이루어지고 있다. 본 연구에서는 bench-scale 충전 증류탑(내경 700 mm, 높이 2400 mm)을 이용하여 폐 포토레지스트 스트리퍼로부터 LCD 등급 유기 용매의 재활용에 대한 실험을 수행하였다. 본 실험 결과 수분 0.05% 이하, 잔존 금속성분이 10 ppb 이하, 99.5% 이상의 고순도 유기용제(NMP, BDG)를 회수할 수 있었다. 본 연구 결과를 기초로 pilot 규모의 증류탑을 설계 중에 있다. |
| 저자 | 김재경1, 김준우1, 안진환1, 이문용2, 구기갑1 |
| 소속 | 1서강대, 2영남대 |
| 키워드 | stripper; distillation; recovery |
