| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2020년 가을 (11/18 ~ 11/20, 휘닉스 제주 섭지코지) |
| 권호 |
26권 1호 |
| 발표분야 |
C. 에너지 재료 분과 |
| 제목 |
RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 Cu2O 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 기판 온도의 영향 |
| 초록 |
산화구리(copper(I) oxide, Cu2O) 박막을 RF 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering) 방법으로 유리 기판에 제조하였고, 기판 온도(substrate temperature)가 Cu2O 박막의 구조와 표면 형태 및 광학적 특성에 미치는 영향을 X-선 회절(X-ray diffraction, XRD), 전계 방출형 주사전자현미경(field emission scanning electron microscope, FE-SEM) 그리고 자외선-가시광선-근적외선 분광(UV-Vis-NIR spectrometer)법으로 조사하였다. XRD 분석 결과, 모든 Cu2O 박막이 (111)면 우선 배향(preferential orientation)을 하는 입방 구조(cubic structure)로 성장하였음을 확인하였다. 상온에서 제조한 Cu2O 박막보다 250℃의 기판 온도에서 증착한 Cu2O 박막에 대한 흡수 단(absorption edge)의 파장은 장파장으로 이동하였고, 350℃의 기판 온도에서는 그 파장이 단파장으로 이동하였다. 서로 다른 기판 온도에 따라 증착된 Cu2O 박막의 광학 밴드 갭(optical bandgap)은 2.52 eV에서 2.24 eV로 변화하였다. |
| 저자 |
김현재, 김민성, 한태구, 박정환, 손창식, 황동현
|
| 소속 |
신라대 |
| 키워드 |
Cu<SUB>2</SUB>O thin film; RF magnetron sputtering; substrate temperature; structural property; optical property
|
| E-Mail |
|
