| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드) |
| 권호 | 17권 1호 |
| 발표분야 | C. Energy and the Environment Technology(에너지 및 환경재료) |
| 제목 | 전자빔 처리를 이용한 다결정 실리콘 태양전지 흡수층에 관한 연구 |
| 초록 | 유리 기판위에 큰 결정을 가진 다결정 실리콘을 제조하는 기술은 제조 가격이 단결정 실리콘의 그것 보다 싸고 대면적으로의 적용이 용이하여 최근 주목받고 있다. 특히 태양전지에서 저온 공정 기반의 비정질 실리콘 결정화는 전체적인 태양전지 제조 가격을 낮출 수 있어 매우 중요하다. 본 연구에서는, 박막 태양전지에서 실리콘 흡수층의 전자 빔 처리에 대한 연구를 진행 하였다. 이 흡수층은 알루미늄을 촉매로 이용한 막 역전 현상 (ALILE)을 이용하여 제조된 다결정 실리콘 씨앗층 위에 증착되었다. 이 ALILE 공정을 위한 알루미늄과 실리콘은 유리기판 위에 각각 thermal evaporator와 plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)를 이용하여 각각 증착 되었다. ALILE 공정은 공정시간, 온도, 막의 두께 등 여러 가지 조건에 따라 실험하였다. 그 중 500℃에서 진행된 ALILE 공정으로 얻어진 실리콘 입자의 평균 크기는 약 20㎛였다. ALILE 공정 이 후 알루미늄은 알루미늄 식각 용액에 샘플을 담구어 제거 하였다. 그 다음 실리콘 씨앗층 위에 p-type 비정질 실리콘을 증착하고 전자빔을 조사하였다. 증착된 각 박막들은 모두 주사 전자 현미경 (SEM), 라만 분광기, x-선 회절분석 그리고 홀 효과 측정 등을 이용하여 분석하였다. |
| 저자 | 김창헌1, 이창권2, 정채환1 |
| 소속 | 1한국생산기술(연), 2(주)큐닉스 |
| 키워드 | 다결정실리콘; 태양전지; 전자빔 처리 |
