| 초록 |
최근 평판 디스플레이 및 광전소자용 애노드 전극으로 가장 많이 쓰이고 있는 ITO 애노드 전극의 경우 우수한 전기적 광학적 특성에도 불구하고 최적화된 특성의 박막을 얻기 위해서 고온공정이 필요하며 이에 따른 결정질로의 천이에 의해 플렉시블 소자에 적용이 힘들다는 단점을 가지고 있어 새로운 애노드 개발 필요성이 대두되고 있는 실정이다. 또한 비정질 구조로서 상온 증착 시에도 우수한 특성을 보이는 IZTO, IAZO 등 다성분계 박막은 고온 안정성이 취약하여 열처리가 필요한 태양전지용 애노드로서 적용하기에 힘든 실정이다. 이에 본 실험에서는 ITO와 AZO를 Co-sputtering한 다성분계 박막(IATO)을 AZO 전압을 변수로 제조하여 박막의 광학적 전기적 구조적 특징을 분석 하였으며 최적화된 IATO 박막의 열처리를 통해 고온 안정성을 조사 하였다. 유리기판위에 성막한 IATO 박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성을 분석하기 위해 Hall effect measurement 와 UV/Vis spectrometer XRD(X-ray diffraction) 분석을 각각 진행 하였으며, 또한 표면 분석을 위해 SEM(scanning electron microscope) 분석을 진행 하였다. 본 실험을 통해 최적화된 IATO 박막은 상온에서 증착된 비정질 구조임에도 불구하고 4.0☓10-4 ohm-cm 의 낮은 비저항과 가시광선 영역에서 85% 이상의 높은 광 투과도를 보였다. 또한 급속 열처리 결과 500oC 에서 3.0☓ 10-4 ohm-cm의 낮은 비저항과 가시광선 영역에서 88% 이상의 높은 광 투과도를 보이는 것으로 나타났다. 실험결과 IATO 박막은 상온 및 고온에서 모두 ITO와 비교해 뒤처지지 않는 우수한 전기적 광학적 특성을 나타내었으며 이에 본 실험을 통해 최적화된 IATO 애노드는 상온에서 제작하는 플렉시블 유기발광소자와 고온공정이 필요한 광전소자, 유기 발광 소자 모두에 우수한 성능을 나타 낼 수 있는 고품위 투명전극으로서의 이용 가능성이 높게 평가 된다. |
