| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교) |
| 권호 | 9권 1호, p.1008 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | TEOS/O2 용 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장의 실험적 분석 |
| 초록 | 반도체 제조 공정에 널리 이용되고 있는 플라즈마 공정에서의 미립자 오염 문제의 상대적 중요성이 커짐에 따라 본 연구에서는 TEOS/O2 플라즈마 반응기에서 미립자 성장을 실험적으로 분석하였다. 공정 변수 변화에 따른 미립자 성장을 분석하기 위해 플라즈마 반응기 내부에 Carbon이 코팅된 Cu grid(400mesh)를 설치한 후 TEM (Transmission Electron Microscope)을 이용하여 입자들의 크기 및 분포를 측정하였다. TEM으로 관찰된 미립자들은 수 nm에서 수백 nm의 크기분포를 보였으며, aggregate 혹은 agglomerate 형태를 보였다. |
| 저자 | 홍성택, 김동주, 김교선 |
| 소속 | 강원대 |
| 키워드 | TEOS/O<sub>2</sub>; Plasma reactor; Particle |
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