| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1997년 가을 (10/24 ~ 10/25, 충남대학교) |
| 권호 | 3권 2호, p.3049 |
| 발표분야 | 이동현상 |
| 제목 | FED용 ZnO:Zn 박막제조를 위한 MOCVD 반응기의 해석 |
| 초록 | 본 연구에서는 LPMOCVD(Low Pressure Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)반응기를 제작하여 박막 형광체를 제조하는 실험을 수행하고 CVD 반응기내에서 일어나는반응물의 유동 및 전달현상들에 대한 전산모사를 통하여 실험조건 및 결과에 중요한 역할을하는 인자들을 도출하였다. 이상적인 CVD 반응기의 모델링 및 모사는 주어진 기하학적인 형태를 가진 반응기에대해서 압력, 온도, 가스유량 및 농도등의 조업조건들을 도출함과 아울러 증착속도, 박막의조성 및 물성등의 예측을 가능케할 것이다. |
| 저자 | 박일우, 윤도영, 한춘, 전병수, 유재수 |
| 소속 | 광운대 |
| 키워드 | MOCVD; FED; POLYFLOW; 증착 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
