| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2006년 봄 (05/19 ~ 05/20, 경상대학교 ) |
| 권호 |
12권 1호 |
| 발표분야 |
에너지환경재료 |
| 제목 |
Tripod polishing을 이용한 초전도 선재 단면의 TEM 분석 |
| 초록 |
다층 박막으로 구성된 Y(Gd)BCO 초전도 선재를 연구함에 있어서 TEM을 이용한 단면의 미세구조 분석은 매우 중요하다. 그러나 국내에서 TEM을 이용한 초전도 선재의 단면의 계면 분석에 대해서는 많은 연구가 진행 된 바 없다. 이는 수십 ㎛의 두께를 가지는 초전도 선재의 TEM 시편 제작이 어려운 점에 기인하는데 초전도 선재와 같은 다층 박막 시편은 주로 dimpling과 이온 연마를 조합하여 만드는 것이 일반적이지만 이와 같은 방법은 기계적 강도가 서로 다른 금속층과 산화물층이 있는 초전도 선재에 적용하기는 어려움이 따른다. dimpling을 하면 산화물층은 취성 때문에 깨지게 되고 금속층은 연성 때문에 휘게 되어 시편의 파괴가 일어난다. 그리고 이온 연마를 할 경우 부분적으로 연마되는 속도가 달라서 초전도 층이나 완충층은 빠르게 연마가 되고 금속은 연마가 되지 않아 균일하고 평탄한 TEM 시편을 준비하기가 어렵다. 본 실험에서는 기계적 강도 값의 차이에 상관없이 넓은 부위에 걸쳐 전자 빔이 투과할 수 있을 정도로 얇은 시편을 제작하기 위하여 Tripod polishing 방법으로 연마를 하여 관찰 하였다. Tripod polishing 방법은 1°미만의 경사를 주어 시편의 끝부분으로부터 2㎛정도의 넓은 부위를 관찰할 수 있다. 이와 같은 방법으로 TEM 시편을 준비하면 이온 연마 없이도 분석하고자하는 지역을 정확하고도 넓게 연마할 수 있기 때문에 이온 연마에서 유발되는 여러 가지 문제점들을 해결할 수 있는 장점이 있다. |
| 저자 |
최순미1, 정준기2, 하흥수3, 고락길3, 유상임4, 김철진1
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| 소속 |
1경상대, 2창원대, 3한국전기(연), 4서울대 |
| 키워드 |
Y(Gd)BCO; TEM; Tripod polishing
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| E-Mail |
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