화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2009년 가을 (10/08 ~ 10/09, 광주과학기술원 오룡관)
권호 34권 2호
발표분야 고분자 합성
제목 상압플라즈마 중합법에 의한 유기박막의 특성 연구
초록 PMMA(poly-methyl methacrylate) 재료는 장래성 있는 고분자 재료 중 하나로 OTFT 분야에서 게이트 절연막으로서 많은 연구들이 이루어 지고 있다. 상압 플라즈마 중합 법을 이용한 유기 박막은 상압 에서 손쉽게 형성할 수 있으며, 다른 화학적 중합 법에 의한 박막과 비교하여 내열성, 내 마모성 등 여러 가지 좋은 특성을 가지고 있다고 보고되어 있다. 본 실험에서는 유기 단량체인 MMA(methyl methacrylate)를 플라즈마 중합방법을 이용해 유기박막을 형성하였다. 여러 가지 조건하에서 플라즈마 유기박막의 형성과정을 확인하였다. Plasma- pmma 의 유전 특성 및 OTFT용 게이트 절연막으로 서의 성능을 평가하였다.
저자 최성란, 김홍두
소속 경희대
키워드 상압플라즈마; 플라즈마합성; OTFT; 게이트 절연막
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