| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (04/23 ~ 04/24, 공주대학교) |
| 권호 | 10권 1호, p.159 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | 고체 불소화제를 이용한 불소화반응시스템의 반응조건 최적화 모사해석 |
| 초록 | 불소를 함유하는 화합물들은 불소에 의한 독특한 물성의 발현으로 반도체, LCD 등 전자제품 제조를 위한 여러 분야의 산업에서 응용범위가 증가하고 있다. 전자산업에 사용되는 함불소가스는 불소함량이 높은 것이 특징으로, 보편적으로 HF 보다 반응성이 높은 불소화제를 이용하여 제조한다. F2 가스를 불소화제로 사용하면 반응속도가 빠르고 반응성이 좋은 대신 많은 양의 반응열을 발생시키므로 반응온도 조절이 어렵고 부산물 생성이 많다. CoF3나 AgF2와 같은 고체 불소화제를 이용하면 불소화반응성이 떨어지고 고체 불소화제의 비활성에 따른 재활성화 반응단계가 필요한 단점이 있으나 반응열 생성이 적어 반응온도 조절이 용이하고 부산물 생성이 낮아 실질적인 불소화반응공정에 활용하기 유리하다. 본 연구에서는 활성 CoF3와 비활성 CoF2가 혼합된 고체 불소화제 층에 원료가스를 공급하여 함불소가스를 합성하는 불소화반응기와 비활성화된 CoF2 고체층에 F2 가스를 공급하여 CoF3로 활성화시키는 불소화제 재생반응기로 구성된 연속식 반응시스템에 대해 CoF3 고체불소화제의 반응특성을 측정하고, 반응기의 구조, 반응원료의 공급방법과 공급속도, 반응기 냉각방법에 따른 반응효율 및 반응기 내의 온도분포를 모사 해석하여 반응시스템의 설계인자와 최적화 운전조건을 조사하고 반응효율 극대화 방안을 고찰하였다. |
| 저자 | 도진선1, 권기현2, 전상훈2, 신치범2, 김홍곤3 |
| 소속 | 1경원대, 2아주대, 3한국과학기술(연) |
| 키워드 | fluorination; cobalt trifluoride; fluorine; reactor simulation |
| 원문파일 | 초록 보기 |
