| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2007년 가을 (10/11 ~ 10/12, 일산킨텍스) |
| 권호 | 32권 2호 |
| 발표분야 | 플렉서블 일렉트로닉스와 고분자재료 |
| 제목 | 플라스틱 기판의 표면처리에 따른 투명전도막 특성 변화 |
| 초록 | 최근 플렉서블 디스플레이 산업이 대두되면서 플라스틱 기판에 양질의 투명전도막을 증착시키기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 하지만 현재 디스플레이용 투명전도막을 플라스틱 기판에 증착하는데 있어서 아직까지 많은 문제점을 가지고 있고, 그 중에서 가장 기초적인 기판의 표면 특성에 따른 투명전도막의 특성 변화에 대한 연구가 아직 미약한 실정이다. 따라서 본 연구에서는 마이크로 웨이브 플라즈마 처리된 플라스틱 기판에DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 저온에서 증착한 ITO(Indium Tin Oxide)의 특성 변화를 연구하였다. 플라스틱 기판 위에 증착된 ITO(Indium Tin Oxide)의 표면형상과 표면거칠기, 결정화도, 저항과 같은 특성을 평가하여 플라즈마 처리된 기판과 ITO(Indium Tin Oxide) 특성과의 연관성을 조사하였다. |
| 저자 | 봉정선, 이장주, 백상현 |
| 소속 | 경희대 |
| 키워드 | 플라스틱 기판; 마이크로 웨이브 플라즈마; 투명전도막; ITO |
