| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 | 11권 2호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | 수소화-탈수소화법에 의한 진공게터용 Zr계 합금제조 |
| 초록 | 비증발형 진공게터 (NEG)는 Zr 합금이 대표적이며 Zr을 모금속으로 하여 Al V Fe Mn Ti Mo Ni 등과 2원계 또는 3원계합금으로 이루어져 있다. 게터용 합금은 비표면적을 증대시키기 위해 구형분말보다는 각형의 미세한 분말이 이상적이다. 수소화-탈수소화공정은 이런 측면에서 게터용 합금분말의 제조공정으로 가장 이상적이다. 본연구에서는 상용합금(ST101, ST707, ST198, ST199, ST909 ) 및 ZrVM (M=Al, Mn, TI, Mo, Ni)을 대상으로 선정하여 게터용 합금분말을 제조하였다. 이들은 아크용해-수소화-탈수소화 공정을 통해 분말로 제조되었으며 이들 합금의 수소화반응, 성분, 상 및 게터특성을 조사하였다. |
| 저자 | 서창열1, 김원백1, 박제신1, 양현진2 |
| 소속 | 1한국지질자원(연), 2한밭대 |
| 키워드 | 수소화 진공게터 지르코니움 분말 |
