| 제목 |
비증발형 Zr57V36M7 (M=Fe, B, Ga, Y, Al, Mn, Ti, Mo, Ni)게터합금의 CO흡수특성 |
| 초록 |
게터란 화학적으로 활성화된 금속합금분말에 의하여 잔류기체를 흡수하여 원하는 목적의 진공도를 얻기 위한 물질이다. 게터는 증발형(EG ; Evaporation Getter)과 비증발형(NEG ; Non-Evaporation Getter)으로 나뉜다. 증발형 게터는 고온의 활성화 공정을 통하여 게터 물질을 증발시켜서 불순기체를 제거하기 때문에 녹는점이 낮고, 쉽게 증발이 이루어지는 물질로 이루어져 있다. 이에 비해 비증발형 게터는 증발된 게터로 인해 소자가 오염되는 경우나 활성화 공정온도가 높은 경우에 사용된다. 시판되고 있는 St707합금과 동일 조성으로 Zr-V-M(M : Fe, B, Ga. Y, Al, V, Mn, Ti, Mo, Ni)합금을 진공 아크로에서 5회정도 반복 용해하여 합금화 하였다. 이들 합금은 수소화물법(Hydride-Dehydride-Method, HDH법)을 이용하여 분말화 하였는데, 먼저 시료를 3×10-4torr까지 진공배기한 후 3~4기압의 수소 분위기에서 500℃가열하여 수소화물을 형성시킨 후 상온으로 냉각하였다. 이들 수소화물은 매우 취약하기 때문에 분쇄하여 분말화하기 용이하다. 분쇄한 분말은 진공 중에서 700℃로 가열하여 탈수소하여 합금분말을 얻었다. 게터의 흡수특성은 오리피스법을 이용하였다. 본연구에서는 고진공중에 수소다음으로 많은 양이 존재하는 CO가스의 흡수특성을 조사하였다. 또한 합금성분변화에 따른 활성화 온도를 측정하였다. |
