| 초록 |
오늘날 FT-IR microscopy 는 산업체에 있어서 제품의 성분을 확인하거나 이물을 분석하여 문제를 해결하는 데 중요한 툴로 활용되고 있다. 특히, FT-IR imaging 은 크기가 수 ㎛ 로 작은 이물이나 다층으로 이루어진 고분자 필름의 각 층을 분석하는 데 있어서 효과적인 방법이다. 본 연구에서는 focal plane array (FPA) detector 가 장착된 FT-IR imaging system 을 이용하여 다층 필름 내에서의 박막 (thin layer) 및 고분자 제품 내에서의 이물 (defect) 을 분석하였다. ATR chemical imaging 을 위해 굴절률이 4.0 인 Ge crystal 을 사용하였으며, ATR chemical imaging 에 의해 분석된 결과는 기존의 방법인 reflection chemical imaging 결과와 비교되었다. ATR chemical imaging 을 적용함으로써 기존 방법보다 공간 분해능 (spatial resolution) 을 4배 정도 향상 시킬 수 있었으며, 또한 background distortion 을 감소시킴으로써 spectrum quality 를 높일 수 있었다. |
