| 초록 |
2차원 전자소자를 3차원으로 변형하는 기술은 평면기판에서 개발되는 고성능 및 고해상도의 전자소자를 입체구조로 구현할 수 있는 유망한 방법이다. 전자소자의 성공적인 차원변형 및 형태유지를 위해서는 변형을 제어하는 기술, 변형으로부터 전자소자를 보호하는 기술, 그리고 변형 후 형태를 유지하는 기술이 요구된다. 본 연구는 아크릴로나이트릴 부타디엔 스타이렌 공중합체(Acrylonitrile butadiene styrene copolymer) 프레임을 제작하고, 이를 용매증기를 통해 일시적으로 가소화 시켜, 고분자 프레임의 물성 및 형태를 제어하는 기술을 개발하였다. 가소화된 고분자 프레임은 영률(Young's modulus)이 약 1/1000로 감소하고, 유동성으로 인해 변형시 전자소자가 받는 변형력/변형도(stress/strain)를 감소시킨다. 본 연구에서 점소성(viscoplastic) 모델기반 시뮬레이션을 통해 소자가 받는 변형력/변형도가 감소하는 것을 확인하고, 사면체 이미지센서를 개발하여 본 기술을 통해 3차원 전자소자 개발이 가능함을 증명하였다. |
