화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2020년 가을 (11/18 ~ 11/20, 휘닉스 제주 섭지코지)
권호 26권 1호
발표분야 E. 환경/센서 재료 분과
제목 반도체공정을 이용한 감마선검출기 개발
초록 일본 원전폭발로 인한 방사능 물질 유출로 방사선 검출기 관련해서 많은 관심이 집중되고 있다. 지금까지 개발된 방사선 검출기를 보면 α선, β선, γ선 검출기 및 중성자 검출기 등을 연구해왔으며 대부분 단결정을 기반으로 형광을 이용하는 방식을 사용하고 있다. 최근 연구되고 있는 부분은 반도체 검출기로 반도체 공정을 이용한 소자개발을 진행하고 있으며 다른 결정질 소재보다 응답속도나 가공성, 정밀도 등이 높은 것으로 알려져 있다. 반도체에서 전자·정공쌍을 만드는데 필요한 에너지는 Ge이 2.9eV이고 Si이 3.6eV로 기체(30eV)에서 보다 상당히 작으므로, 동일한 에너지의 입사방사선에 대하여 생성되는 정보 전달자의 수가 많아서 출력펄스가 커진다. 따라서 입사방사선의 에너지를 구분하는 에너지 분해능이 우수하다. 또한 검출기가 기체보다 밀도가 1,000 배 정도 큰 고체이므로 방사선의 검출 효율이 우수하다.  
본 연구에서는 이러한 반도체 검출기를 이용하여 검출기 성능을 평가하고 검출기로서의 최적의 조건을 확보하기 위한 공정을 개발하여 상호 비교 평가한다. 특히 감마선 검출기로 활용이 가능하도록 저비용 고효율을 목표로 검출기를 개발하고 있는 내용을 제시한다.
저자 김성규
소속 포항공과대
키워드 감마선; 반도체검출기
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