| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2013년 봄 (05/23 ~ 05/24, 여수 엠블호텔(THE MVL)) |
| 권호 |
19권 1호 |
| 발표분야 |
C. 에너지/환경 재료(Energy and Environmental Materials) |
| 제목 |
결정질 실리콘 태양전지의 적용을 위한 Al2O3 박막 특성 분석 |
| 초록 |
ALD를 이용하여 증착한 Al2O3 박막은 막질의 균일성이 뛰어나고 실리콘과의 계면 결함이 낮아 태양전지의 포화 전류값이 낮기 때문에 고효율 태양전지에 적용되어 연구되고 있다. 하지만 thermal ALD를 이용한 Al2O3 박막 증착은 증착속도가 낮기 때문에 양산화에 문제가 되고 있다. 따라서 본 연구는 10 nm 급의 매우 얇은 Al2O3 박막층을 이용하여 실리콘 태양전지의 패시배이션 층으로 적용하기 위하여 진행되었다. Thermal ALD를 이용하여 Al2O3를 증착하였으며 다양한 열처리 조건으로 특성을 평가하였다. Al2O3 박막의 두께는 엘립소미터를 이용하여 측정하였고 패시배이션 특성을 확인하기 위하여 C-V와 QSSPC를 이용한 lifetime을 분석하였다. |
| 저자 |
김성탁1, 강성구1, 이경동2, 박성은1, 김영도1, 이해석1, 김동환1
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| 소속 |
1고려대, 2한국화학(연) |
| 키워드 |
silicon solar cell; passivation; Al2O3; ALD
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| E-Mail |
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