| 초록 |
TiO2/Ag/TiO2(TAT) 다층박막은 우수한 전기적, 광학적 특성으로 인해 태양전지, OLED, flexible display의 투명전극으로 이용될 수 있다. 본 연구에서 unbalanced rf 마그네트론 스퍼터와 thermal evaporator를 이용하여 TAT 다층박막에서 삽입층인 Ag 두께에 따른 다층구조 박막의 전기적, 광학적, 구조적, 표면적 특성을 연구하였으며, 최적화된 박막으로부터 4 omh/sq 의 매우 낮은 면저항값과 550 nm 파장에서 82 % 이상의 투과율을 얻을 수 있었다. 이러한 TAT 다층박막의 우수한 전기적, 광학적 특성은 Ag 두께에 따라 섬(island)형에서 채널(channel)형으로 천이에 의해 기인한다. 유리기판 위에 성막된 TAT 다층박막의 전기적, 광학적, 구조적, 표면적 특성을 분석하기 위하여 4-point-probe와 hall effect measurement, UV/Vis spectrometer, XRD(X-ray diffraction), SEM (scanning electron microscopy) 분석을 각각 진행하였다. 본 연구에서 제작된 TAT 투명전극은 태양전지, OLED, flexible display의 애노드 층으로 사용 될 가능성을 보여준다. |
