화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트)
권호 14권 1호
발표분야 전자재료
제목 초정밀 광학렌즈용 금형에 코팅된 Cr/CrN 및 Ti, Cr/PtIr 코팅층에 관한연구
초록 글라스 구면 및 비구면 렌즈 제조를 위한 초경금형을 구면 및 비구면으로 초정밀가공하고, 여기에 글라스와 반응하지 않은 물질로 Cr/CrN 및 Ti, Cr/PtIr을 코팅하였다. 코팅은 Ion gun과 magnetron sputtering 시스템을 사용하여 코팅하였으며, Bias, 온도, 공정압력, target power, distance 등의 조건을 달리하여 코팅함으로서 가장 이상적인 코팅 조건을 도출하였다. 분석결과 평균 거칠기값은 ㎚로 CrN에 비해 아주 미려하며 5가지 코팅 물질 중에서 Ti/Pt<Cr/Pt<Cr/IrRe(70:50at%)<Ti/IrRe(70:50at%)<Ti/IrRe(50:50at%)순으로 Ti/IrRe(50:50at%) 코팅층이 가장 우수한 표면거칠기 값을 가졌다. 또한 GMP(Glass Molding Pressure) 시스템을 이용하여 GOB(glass 소재)를 성형하여 lens를 생산하는 중에 코팅층이 박리되는 현상이 나타났는데, 위와 같이 박리되는 시점은 약 1,500~3,000shot에서 발생된다.
저자 박범수1, 양국현1, 이경구2, 이도재3, 이광민3, 임태관3
소속 1(주)에이지광학, 2(재)광주테크노파크, 3전남대
키워드 금형; 코팅; 렌즈
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