| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2001년 가을 (10/19 ~ 10/20, 한밭대학교) |
| 권호 | 7권 2호, p.3095 |
| 발표분야 | 공정시스템 |
| 제목 | RTP 시스템에서 웨이퍼의 온도 균일도 제어 |
| 초록 | 고속 열처리 공정(RTP)은 단일 웨이퍼 가공 공정으로 최근에 반도체 제조 공정에서 많이 적용되고 있으나 웨이퍼 표면의 온도 균일도의 유지가 아직 어려운 문제로 남아 있다. 본 연구에서는 기존의 LQG 제어 알고리즘에 학습제어가 가미된 BLQG 알고리즘을 실제 8 inch 웨이퍼용 RTP시스템에 적용하여 웨이퍼의 온도 제어 실험을 수행하였다. 알고리즘이 실제 시스템에서 모델 오차에도 불구하고 오차를 최소화하는 방향으로 수렴하여 가는지를 확인하는 것과 반복되는 외란을 제어를 통해서 최소화 시키는 것을 확인하는것에 목적을 두고 있다. |
| 저자 | 안효진, 양대륙, 이광순 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | Iterative learning control; Rapid Thermal Processing |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
