| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 1998년 가을 (10/23 ~ 10/24, 조선대학교) |
| 권호 | 4권 2호, p.3893 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Titanium Disilicide 막의 제조 특성 |
| 초록 | 물리증착에 의해 제조된 막은 열처리 온도에 따라 다양한 형태의 상을 가지고 있으며, Kirkendall 효과에 의해 막의 함몰이 일어나고, 에피택시 성장을 위하여 막이 회전하여 다양한 격자구조를 갖는 것으로 나타났다. 또한 van Loenen 등이 보고한 바와 같이 물리증착과열처리 공정에 의해 티타늄 실리사이드의 C49와 C54 구조가 형성되었음을 확인할 수 있었다. |
| 저자 | 모만진, 전법주, 김정규, 정일현 |
| 소속 | 단국대 |
| 키워드 | Titanium silicide; C54/C49 Structure; Kirkendall effect |
| 원문파일 | 초록 보기 |
