학회 | 한국재료학회 |
학술대회 | 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트) |
권호 | 18권 1호 |
발표분야 | B. 나노재료(Nanomaterials) |
제목 | Al-Mg 합금 박막의 미세구조 형성 거동과 증착률의 연관성 |
초록 | Al-Mg 합금은 낮은 밀도와 질량 대비 높은 강도를 지니며, 좋은 내식성을 지녀 강판의 내식성 향상 코팅재료로 주목받고 있다. 따라서 Al-Mg 합금 박막의 실용화를 위하여 국내외에서 많은 연구가 진행되고 있다. 코팅층의 내식성을 비롯한 여러 가지 물리화학적 특성들은 코팅층의 미세구조와 밀접한 연관성이 있다. 본 연구에서는 Al-Mg 합금 박막의 미세구조 형성 거동을 관찰하기 위해 DC magnetron sputtering 장치를 이용하여 냉연 강판에 Al-Mg 코팅층을 형성시켰다. 중요한 증착변수 (인가전원밀도, 공정압력, 성장온도)를 체계적으로 변화시켜 형성된 코팅층의 미세구조를 관찰하였다. 코팅층의 미세구조 발달과 증착률 (deposition rate)과의 연관성을 조사하였으며, 이에 바탕하여 미세구조 발달 거동을 해석하고자 하였다. |
저자 | 선건주, 김상섭 |
소속 | 인하대 |
키워드 | Al-Mg alloy; DC magnetron sputtering; microstructure; deposition rate |