화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트)
권호 18권 1호
발표분야 B. 나노재료(Nanomaterials)
제목 Al-Mg 합금 박막의 미세구조 형성 거동과 증착률의 연관성
초록 Al-Mg 합금은 낮은 밀도와 질량 대비 높은 강도를 지니며, 좋은 내식성을 지녀 강판의 내식성 향상 코팅재료로 주목받고 있다. 따라서 Al-Mg 합금 박막의 실용화를 위하여 국내외에서 많은 연구가 진행되고 있다. 코팅층의 내식성을 비롯한 여러 가지 물리화학적 특성들은 코팅층의 미세구조와 밀접한 연관성이 있다. 본 연구에서는 Al-Mg 합금 박막의 미세구조 형성 거동을 관찰하기 위해 DC magnetron sputtering 장치를 이용하여 냉연 강판에 Al-Mg 코팅층을 형성시켰다. 중요한 증착변수 (인가전원밀도, 공정압력,  성장온도)를 체계적으로 변화시켜 형성된 코팅층의 미세구조를 관찰하였다. 코팅층의 미세구조 발달과 증착률 (deposition rate)과의 연관성을 조사하였으며, 이에 바탕하여 미세구조 발달 거동을 해석하고자 하였다.
저자 선건주, 김상섭
소속 인하대
키워드 Al-Mg alloy; DC magnetron sputtering; microstructure; deposition rate
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