화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2009년 봄 (05/21 ~ 05/22, 무주리조트)
권호 15권 1호
발표분야 전자재료
제목 자기조립단분자막을 이용한 poly(3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT)의 선택적인 증착과 이를 이용한 (4-vinyl phenol) (PVP) 유기 절연층 트랜지스터 제작
초록 본 연구는 Poly(4-vinyl phenol) (PVP)를 게이트 절연층으로 사용하고 그 위에 전도성 고분자를 선택적으로 증착하여 Organic Thin Film Transistor (OTFT)를 제작한 것에 대한 연구이다.
우선 n+-Si 웨이퍼 위에 PVP 용액을 스핀코팅으로 도포하고 경화를 통하여 게이트 절연층을 증착하였다. 그리고 Octadecyltrichlorosilane (OTS)를 μ-contact printing 방법으로 전사를 하고, (3-Aminopropyl)trimethoxysilane (APS) 용액에 담금으로써 OTS가 전사되지 않은 부분에 APS를 흡착시켰다. 그 후 FeCl3 용액을 스핀코팅 하여 APS 표면 위에 선택적으로 도포하였고, 화학적 기상 중합법(VPP)을 이용하여 poly(3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT)을 선택적으로 성장하였다. PVP 위에 형성된 PEDOT을 소스 및 드레인 전극으로 사용하고, Pentacene을 활성층으로 사용하여 OTFT 소자를 제작하였고 mobility 0.15 cm2/Vs , subthreshold slope 3.0 V/decade, on/off ratio 5x104의 전기적 특성을 확인하였다.
저자 양기열, 김현호, Mohammad Amdad Ali, 소회섭, 이재갑
소속 국민대
키워드 유기 절연층 트랜지스터; 자기조립 단분자막; 전도성 고분자; Poly(4-vinyl phenol)
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