| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드) |
| 권호 |
17권 1호 |
| 발표분야 |
E. Structural Materials and processing Technology(구조재료 및 공정기술) |
| 제목 |
Si 잉곳 절단용 steel saw-wire의 마모특성에 미치는 중간선 열처리 공정의 영향 |
| 초록 |
최근 들어 반도체 소자용 기판재료로 사용되는 실리콘 웨이퍼의 수요가 급격하게 증가하고 있다. 따라서 실리콘 웨이퍼의 제조공정중 잉곳(ingot)의 절단과정에 사용되는 saw-wire의 수요도 증가하는 추세를 보이고 있다. 하지만, 잉곳의 절단 공정 중 saw-wire의 단선이 발생하면 절단 마모재인 wire의 대량적인 낭비를 초래하게 될 뿐만 아니라 시간적으로도 막대한 손실을 입게 된다. 따라서 본 연구의 목적은 널리 사용되는 steel saw-wire의 기계적 특성 및 미세조직의 분석을 통해 saw- wire의 마모특성을 연구함으로써 최종적으로 saw-wire의 수명을 늘이는 것이다. 실험에서 사용된 시편은 탄소함량이 0.84W% 들어있는 공석강에 접근하는 강종이고 열처리 공정 중 wire 선속을 각각 66, 74, 82 90 m/min로 변화시켰다. 4가지 종류의 시편을 각각 특정마모시험장치를 사용하여 마모테스트를 진행하였고 마모특성을 설명하기 위하여 인장시험과 경도 시험을 진행하였다. 또한 와이어 선속에 따른 미세조직의 변화를 알아보기 위해 광학현미경과 전자현미경의 관찰을 수행하였다. 와이어 선속이 증가함에 따라 마모량은 감소 즉 마모특성은 향상되었다. 또한 와이어 선속의 증가에 따라 경도는 증가하는 것으로 나타났다. |
| 저자 |
황빈, 김동용, 김회봉, 조영래
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| 소속 |
부산대 |
| 키워드 |
Saw wire; 마모특성; 와이어 선속; Si 웨이퍼
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| E-Mail |
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