| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2013년 가을 (11/06 ~ 11/08, 제주롯데호텔) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | 제25회 신소재 심포지엄-한국연구재단 세션 |
| 제목 | 나노 임프린트 리소그라피를 이용한 나노 구조의 제작 및 활용 |
| 초록 | 나노 임프린트 리소그라피는 수 십 나노미터에서 수 마이크론의 크기를 갖는 패턴을 폴리머, 산화물, 금속등의 소재로 다양한 기판 위에 형성할 수 있는 매우 유용한 기술이다. 특히 일반적인 편평한 웨이퍼 뿐만 아니라 플렉서블한 폴리머 필름에도 다양한 나노패턴을 형성할 수 있으므로 나노 임프린트 리소그라피는 LED, 박막 태양전지, 2차전지 전극, 및 각종 유기소자에 사용되어 소자의 효율을 높일 수 있다. Top down 기술인 나노 임프린트와 bottom up기슬인 수열합성법을 결합하여 nano-in-micro 복합구조를 형성하여 표면적을 극대화 시킬 수 있으며 이러한 기술은 표면 개질 및 초고감도 센서등에 사용될 수 있다. 본 연구에서는 기존의 폴리머 레진이 아닌 sol-gel 레진, 나노 파티클 분산레진 등의 기능성 레진을 이용하여 다양한 기판 위에 폴리머, 산화물, 금속 등의 소재로 나노 패턴을 형성하는 실험결과와 동시에 이들 다양한 소재의 나노 패턴을 박막 태양전지 소자 내부에 적용하여 소자의 효율을 높이는 실험 결과를 발표한다. 또한 나노 임프린트 리소그라피의 파생기술인 트랜스퍼 프린팅 기술을 이용하여 금속 나노 메쉬를 형성하고 이를 이용한 투명전극 제조에 관한 실험 결과도 소개한다. |
| 저자 | 이헌 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | nano imprint lithography; thin film solar cell; transfer printing; transparent electrode |
