| 초록 |
독성가스는 상수원의 소독, 공기의 정화, 세정 등 다양한 용도로 사용되며, 특히 우리나라의 반도체, LCD, 태양전지 등 첨단 산업발달로 반도체 세계시장 점유율 2위, LCD 1위 등에 따라 독성가스 수요는 폭발적 증가 추세에 있다. 특히 2006년부터 반도체용 특수고압가스의 수입이 증가하면서 독성가스의 사고도 최근 6년간 고압가스사고 77건 중 약 20%(15건)을 차지하고 있어 현행 안전관리 체계를 위협하는 심각한 문제점을 드러내고 있다. 더욱이 2012년 경북 구미지역의 불화수소산(불산) 누출사고 이후 2013년에만 8건이 발생하는 등 독성가스로 인한 사고가 급증하고 있다. SEMATECH(미국반도체 제조기술 연구조합)에 따르면 용기의 연결 및 분리작업에서 발생되는 사고가 전체의 30%를 차지한다고 한다. 이러한 행위만을 제거함으로써 사고의 위험성을 30% 줄일 수 있는 셈이다. 이러한 수작업에 의한 오류를 줄이기 위해서 전자식 자동 분배장치(VMB : Valve manifold box), 유량제한 오리피스(RFO: Restricted flow orifice), 대용량 공급시스템(BSGS : Bulk specialty gases system), 독성가스 실린더를 보관하여 사용하는 실린더케비닛 방식이 있다. 용기의 빈번한 교체가 필요한 가스실린더의 사용을 줄이고 대용량 저장용기의 사용을 권장할 필요가 있지만, 현재 소량공급 방식중 가장 많이 사용되는 공급시설은 실린더 캐비닛이다. 따라서, VMB, BSGS 등의 사용확대 권장과, 실린더 캐비닛내의 VMB, 검지기, 소화설비, 환기설비에 대한 표준 운전 매뉴얼의 보급이 필요하다. |
