초록 |
본 연구에서는 금속 산화물 나노선과 금속이 매립된 금속 산화물 나노입자가 기능화된 나노선을 이용하여 NO2 가스 센싱 특성 평가를 진행하였다. 금속 산화물 나노선을 합성하기 위하여, 일반적으로 잘 알려진 VLS (vapor-liquid-solid) 공법을 이용하였다. 합성된 나노선에 FCVD (flame chemical vapour deposition) 공법을 이용하여 금속이 매립된 나노입자를 나노선 표면에 형성하였다. 이 복합나노선을 SEM (scanning electron microscope), XRD (X-ray diffraction), TEM (transmission electron microscope) 분석이 이루어졌고, 금속 산화물 나노선 표면에 금속이 매립된 나노입자가 형성되었음을 확인하였다. 또한, 나노입자 및 나노선 표면에 결정 결함이 있음을 XPS (X-ray photo-electron spectroscopy) 와 PL (photoluminescence)를 이용하여 확인하였다. 복합나노선의 가스 센싱 특성 평가를 통하여 NO2 가스에 대하여 높은 감응도를 확인하였다. |