화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2005년 봄 (05/26 ~ 05/27, 무주리조트)
권호 11권 1호
발표분야 전자재료
제목 ZrVM 비증발형 게터의 전기화학적 활성화에 관한 연구
초록 게터란 화학적으로 활성화된 금속에 의하여 기체가 흡착되는 반응을 이용하여 진공배기를 하는 물질이며 증발형과 비증발형으로 나눌수 있다. 비증발형 게터는 게터자체를 증발시키는 증발형 게터와는 달리 게터자체가 증발하지 않아 Device을 오염시키지 않으며 활성화공정의 용이성 때문에 각종램프, 보온병, 진공챔버, FED(Field Emission Display), PDP(Plasma Display Panel)와 같은 평판디스플레이 등에 광범위하게 적용되고 있다. 본 연구에서는 비증발형 게터의 활성화 및 흡수특성 평가에 대한 전기화학적 분석법의 적용 가능성을 평가하였으며, 아크용해와 수소화-탈수소화법에 의해 분말화된 지르코늄-바나늄계 게터합금을 사용하여 환원/산화 전류의 반복 인가와 CV(Cyclic Voltammetry) 분석을 통해 활성화 및 흡수특성을 조사하였다. 0.1M H2SO4용액에서 측정한 ZrVFe 합금의 경우 초기 CV에서는 활성화 피크가 나타나지 않았으나 ±1mA의 전류를 2회 반복 인가한 후에는 -0.3mV와 -0.9mV영역에서 피크나 나타났다. ZrVTi 합금은 초기 CV에서 -0.3mV와 -0.8mV영역에서 피크가 발생하였고 ±1mA의 전류를 2회 반복 인가한 후에는 -0.4mV와 -0.7mV 영역에서 피크가 발생하였다.
저자 이동진1, 김원백2, 김광범1, 김민석2, 서창열2, 박제신2
소속 1연세대, 2한국지질자원(연)
키워드 비증발형게터; 활성화
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