| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2005년 가을 (11/10 ~ 11/11, 한양대학교) |
| 권호 |
11권 2호 |
| 발표분야 |
전자재료 |
| 제목 |
플라즈마 처리를 통한 DLC 박막의 화학적 구조 변화와 액정 배향의 상호관계 |
| 초록 |
디스플레이 소자의 성능향상을 위하여 무기박막을 이용한 액정 배향방법이 연구되고 있다. 현재 액정 배향방법은 접촉식 러빙법으로 먼지, 정전기 등의 발생으로 인해 액정표시 특성이 저하되는 문제점을 가지고 있다. 최근, diamond like carbon (DLC) 박막에 이온빔을 조사하여 액정을 배향한 연구가 보고된 이래, DLC 박막을 기초로 비접촉식 배향 방법에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 본 연구에서는 DLC 박막의 플라즈마 처리를 통해 박막의 화학 구조의 변화에 따른 액정 배향과의 상호관계를 규명하고자 한다. DLC 박막은 스퍼터링 법을 이용하여 상온에서 ITO가 코팅된 유리 위에 증착되었으며, 질소와 수소 분위기에서 플라즈마 처리를 실시하였다. 편광 현미경과 액정의 선경각 측정을 통해서 플라즈마 처리한 DLC 박막이 우수한 배향성을 가짐을 확인하였다. 나아가 Raman scattering과 X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 측정을 통해 박막의 플라즈마 처리에 따른 화학적 구조의 변화를 연구하여 액정 배향과의 상호관계를 고찰하였다. |
| 저자 |
최지혁, 함문호, 오병윤, 최성호, 황정연, 명재민, 서대식
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| 소속 |
연세대 |
| 키워드 |
Diamond-like carbon; Alignment layer; Liquid crystal; Ultraviolet alignment method
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