| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 봄 (04/21 ~ 04/22, 한양대학교) |
| 권호 | 6권 1호, p.1837 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Level Set 방법을 이용한 고밀도 플라즈마 식각 프로파일 모델링 |
| 초록 | 식각 프로파일의 대표적인 계산 방법은 string 알고리즘을 들 수 있으며 최근까지 널리 사용되고 있다. 그러나 string 알고리즘은 trench에서 노드가 겹칠 때 loop를 형성시키는 알고리즘상의 문제점이 지적되고 있다. 본 연구에서는 string 알고리즘의 단점을 보완하고 계산상의 오차를 줄일 수 있는 Level Set 방법을 사용하였으며 Cl2와 CF4 식각기체를 이용한 실리콘 식각 프로파일을 여러 공정조건에 따라 예측하고자 하였다. |
| 저자 | 임연호, 박진수, 한윤봉 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | high density plasmas; level set method; etch profile; sheath dynamic |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
