| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2000년 가을 (10/20 ~ 10/21, 포항공과대학교) |
| 권호 | 6권 2호, p.4533 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | FRAM 소자 응용을 위한 SrBi2Ta2O9 박막의 고밀도 플라즈마 식각 |
| 초록 | 최근 비휘발성 메모리 소자로 FRAM이 각광을 받고있다. FRAM의 재료로써 PZT가 많이 연구되었으나 PZT는 전계인가횟수의 증가에 따라 피로현상이 심각해지기때문에 새로운 재료로써 SBT가 떠오르게 되었다. 아직 SBT의 식각 특성에 대한 연구는 많은편이 아니며 본 연구에서는 ICP를 이용하여 식각가스의 조성과 여러 플라즈마 파라미터들이 SBT의 etchrate에 미치는 영향을 연구및 분석하였다. |
| 저자 | 박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉 |
| 소속 | 전북대 |
| 키워드 | |
| 원문파일 | 초록 보기 |
