| 초록 |
공정용 플라즈마는 다양한 변수(전자온도, 압력, 플라즈마 밀도, source power, 기판 온도, 등.)들이 물리적, 화학적 process들에 영향을 미치게 된다. 이 때문에 플라즈마를 이해하고, 실제 공정에서 발생하는 여러 현상들을 조절하기 위해서는 이와 같은 변수들의 믿을만한 값들이 필요하게 된다. 흔히 사용되는 플라즈마 진단방법으로 mass spectroscopy, electric probe, optical methods 등이 있으며 이 중 cold plasma의 변수를 측정하는 적절한 방법은 금속 탐침(Langmuir probe)을 플라즈마 내에 삽입하여 탐침으로부터 흘러나오는 전류로부터 내부 변수를 측정할 수 있는 Langmuir probe를 이용하는 방법이다. 이 방법은 1920년대 미국의 Langmuir와 Smith에 의해 창안되었으며, 오늘날까지 플라즈마 측정에 많이 사용되고 있다. Langmuir probe를 사용하여 측정할 수 있는 플라즈마 변수로는 플라즈마 밀도, 전자 온도, 플라즈마 전위, 및 부유전위가 있다. |
