| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2007년 봄 (05/10 ~ 05/11, 무주리조트) |
| 권호 | 13권 1호 |
| 발표분야 | 전자재료 |
| 제목 | SnO2 함유량이 다른 ITO 타겟을 사용하여 폴리머 기판위에 성막한 ITO 박막의 물성평가 |
| 초록 | ITO 박막은 광학적 및 전기적 특성이 다른 투명전도성 산화물과 비교하여 우수하기 때문에 다양한 디스플레이의 투명전극재료로서 가장 널리 사용되어지고 있는 재료이다. 현재 휴대하기 편하며 유연성을 가지는 차세대 디스플레이 소자에 대한 관심이 고조되고 있으며, 이를 실현하기 위해서는 투명전극재료를 폴리머 기판위에 성막 해야만 한다. 한편 마그네트론 스퍼터링법을 사용하여 폴리머 기판위에 투명전극을 성막 할 경우, 유리기판과 비교하여 폴리머 기판의 높은 열팽창율과 낮은 열적 내구성 때문에 고품질의 ITO박막을 실현하기 위해서는 성막조건의 최적화는 매우 중요한 인자이다. 본 연구에서는 SnO2가 각각 10wt%, 7.0wt%, 5.0wt% 함유된 ITO 타겟을 사용하였으며, d.c. 및 r.f. 마그네트론 스퍼터링법을 사용하여 실온의 폴리머 기판위에 다양한 조건 (O2 및 H2 첨가, 전압, 방전파워, 타겟-기판 거리, 기판회전속도 등)에서 ITO박막을 형성하였다. 제작한 ITO 박막의 미세구조, 표면형상, 전기적•광학적 특성은 XRD, SEM, AFM, Hall Effect, UV-Visible Spectrophotometer 등을 사용하여 평가 되었으며, ITO 박막의 기계적 특성은 Bending 시험에 의해 각각 평가 되었다. |
| 저자 | 이정락1, 이동엽1, 이상철2, 김도근3, 이건환3, 송풍근1 |
| 소속 | 1부산대, 2(주)삼성코닝 나노재료연구실, 3한국기계(연) |
| 키워드 | ITO; 폴리머 기판; 기계적 특성; Bending 시험 |
