| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 봄 (04/25 ~ 04/26, 순천대학교) |
| 권호 | 9권 1호, p.1043 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | RF-스퍼터링을 통한 수소함량에 따른 ZrO2전해질의 특성분석 |
| 초록 | 고체 전해질은 다른 전해물질과 비교하여 열적/기계적 안정성이 우수하고, 기체 생성물이 생기지 않아 그에 따른 이차 반응이나 오염이 되지 않아 환경 친화적이라 할 수 있다. 또한 전극 위에 고체 전해질을 수μm 이내로 직접 형성함으로써, 전극과 전해질의 계면접착력을 극대화 시킬수 있으며, 상대적으로 낮은 고체전해질의 이온전도성을 극복할수 있다. 본 실험에서 쓰인 것은 4인치 크기의 p-type si 단면 폴리싱 웨이퍼이다. 하부 전극으로 Pt를 1000Å 증착하였으며 이때 Pt의 접착력을 향상시키기 위하여 Ti를 200Å 증착하였다. 이 웨이퍼 위에 Zr타겟을 이용하여 rf 스퍼터(Korea Vacuum KVS-25060)로 수소를 주입하여 상온에서 성장시켰다. 이때 사용된 가스는 Ar, O2 그리고 100% H2를 부피비에 따라 혼합하여 이를 조성비에 따라 조건을 맞추어 실험하였다. 이 샘플위에 다시 상부 Pt를 증착하여 이를 SEM, XRD, AFM, RBS등을 이용하여 표면특성 및 조성과 상특성을 보았으며, 전기화학적인 분석 방법에 의하여 이를 연료전지및 슈퍼캐패시터에 응용할 수 있는지를 알아보았다. |
| 저자 | 정주현1, 이태희1, 윤영수2 |
| 소속 | 1연세대, 2한국과학기술(연) |
| 키워드 | RF-스퍼터링; ZrO2전해질 |
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