| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2008년 가을 (11/12 ~ 11/14, ICC 제주) |
| 권호 | 12권 2호 |
| 발표분야 | 정보전자소재 |
| 제목 | 도핑된 Zinc oxide 박막의 제조에 따른 특성비교 연구 |
| 초록 | Zinc oxide는 투명전도성 재료, 가스센서, 태양전지, LEDs 등 많은 분야에서 흥미를 가지고연구 되어지고 있는 재료이다. 본 실험에서는 Zinc oxide에 Al, N, In을 doping하여 박막을 제조하였 때 전도도 및 투과도의 변화를 비교하였으며,소성온도 및 소성분위기에 따른 조건의 변화에 따른 그 특성을 비교하였다. Zinc oxide는 gol-gel법으로 용액상태로 만들었으며, 박막의 제조는 유리기판 위에 Spin-coating 방식으로 하였다. 소성온도 및 분위기는 300~600℃범위 내 질소 및 수소 분위기 조건에서 소성하였다. Zinc oxide의 전기저항은 4.48*100 Ωㆍ㎝ 이다. |
| 저자 | 유제정, 이경균, 이성구, 손하영, 김종훈 |
| 소속 | 한국생산기술(연) |
| 키워드 | zinc oxide; ZnO |
