화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2014년 봄 (05/15 ~ 05/16, 창원컨벤션센터)
권호 20권 1호
발표분야 C. 에너지/환경 재료(Energy and Environmental Materials)
제목 MOCVD 공정을 이용한 Tin Sulfide 박막 증착
초록   황화주석은 1.0-1.3 eV의 이상적인 밴드갭 에너지를 가지고 있기 때문에 차세대 박막 태양전지 재료로서 주목 받고 있다. 우리는 Sn(dmamp)2 전구체와 H2S gas의 반응을 이용한 유기금속화학기상증착 (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 공정으로 황화주석 박막을 증착 하였다. X-선 회절 분석 (X-ray diffraction) 분석을 통해 orthorhombic 구조의 황화주석 박막이 증착 되었음을 확인하였고, 주사전자현미경 (Scanning Electron Microscopy) 관찰을 통해 기공이 없이 치밀한 박막이 형성됨을 알 수 있었다. 또한, 홀측정 (Hall measurement)과 분광광도계 (UV-spectrophotometer) 분석을 통해 박막의 전기, 광학적 특성을 분석하였다.
저자 강성구1, 이창완1, 정윤장1, 김창균1, 김동환2, 이영국1
소속 1한국화학(연), 2고려대
키워드 Thin film solar cells; MOCVD; Tin sulfide
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