| 초록 |
최근 고성능 어레이형 검출소자 Superconducting Tunnel Junction (STJ) 는 기존의 반도체 검출기에 비해 에너지 분해능, 양자효율, 측정 가능한 포톤 파장영역 등이 우수하여 차세대 포톤 검출기로 주목 받고 있다. 본 연구에서는 STJ 소자를 조셉슨 접합 구조인 Ta/Al-AlOx-Al/Ta 로 형성하였으며 크기가 각각 다른 20, 40, 60, 80µm인 4종류의 STJ 소자로 제작하였다. STJ 소자는 DC magnetron sputtering 를 사용하여r-plane(10-12) 사파이어 기판 위에 증착하였으며 Photolithography, RIE(reaction ion etching) 공정을 통하여 단일소자로 제작되었다. 전기적 측정을 위해 Ta의 임계온도 이하로 냉각했으며 I-V curve 통하여 STJ 소자 성능을 결정하는 기본적인 특성을 분석하였다. 또한 XRD 와 AFM 을 통하여 하부Ta의 결정성과 표면 거칠기가 전기적 특성에 미치는 영향에 대해 각각 분석하였다. |
