| 초록 |
광경화 수지에 무기물을 첨가하여 유무기 수지(photocurable hybrid organic-inorganic materials)를 합성할 경우 반응 온도가 낮아 유기물의 기능성을 무기물의 망목 구조에 용이하게 도입할 수 있고, 무기물의 양을 조절하여 경도를 유기물의 양을 조절하여 유연성을 부여할 수 있는 등 자유롭게 분자 설계가 가능하여 응용 분야가 확대되고 있는 실정이다. 이러한 광경화 수지를 나노임프린트에 적용할 경우 미세패턴이 형성되는 수지필름의 경도를 향상시켜 내구성을 강화함과 동시에 열팽창 계수의 차이에 따른 미세 패턴의 왜곡, 뒤틀림 등 수축 변형을 제거할 수 있는 장점이 있다. 본 연구에서는 실리카 나노 파티클(si nanoparticles)의 함유량을 다르게 하여 우레탄 아크릴레이트 수지를 제조하여 Photo-DSC, FTIR spectrophotometer, Nano Indenter, UV/Vis spectrometer를 이용해 열적 특성 및 물성을 측정하였다. 또한 임프린트를 하여 실리카 나노 파티클의 함유량에 따른 나노 패턴의 전사 여부를 확인하였다. |
