| 초록 |
자왜(magnetostriction)현상은 외부 인가 자기장에 따라서 자성재료의 기계적 특성(치수변화)이 변화는 현상을 말하며, 전·자기적 에너지를 기계적 에너지로 변화시키는 센서나 액츄에이터등의 다양한 분야에서 그 응용 가능성이 연구되어지고 있다. 현재 응용 가능성 연구의 대표적인 자성재료로는 1975년 미국에서 개발된 Tb0.3Dy1.7Fe2등의 비산화물 재료가 주류를 이루고 있으나, 현재 Tb, Dy 금속 출발원료의 가격문제, 단결정(single crystal) 재료화의 문제등 해결되어야할 선결문제이다. 본 연구에서는 제조 단가가 저렴한 졸-겔 제조법을 적용하여 Zn-페리이트를 제조하였으며, Fe site에 Ni을 소량 첨가한ZnFe2-xNixO4(0.0＜x＜0.7) 박막을 실리콘 기판상에 제조하여 첨가량 x에 따른 결정구조상의 변화, 미세구조 변화, 거시적 자성 특성의 변화 및 자왜 특성의 변화를 연구 하였다. 다결정 실리콘 기판상에 제조한 ZnFe2-xNixO4(0.0＜x＜0.7) 박막의 두께는 약 3,000 Å 이였으며, x의 첨가량에 따른 결정 구조상의 변화는 관찰할 수 없었고, 800 ℃에서 2시간 열처리한 x=0.07 의 ZnFe1.93Ni0.07O4(0.0＜x＜0.7)박막의 경우 ~120 ppm의 자왜 값을 얻을 수 있었다. |
