| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2003년 가을 (10/24 ~ 10/25, 한양대학교) |
| 권호 | 9권 2호, p.1722 |
| 발표분야 | 공업화학 |
| 제목 | 액상법에 의한 CeO2 나노입자의 제조 |
| 초록 | CeO2는 높은 이온전도성과 기계적 성질로 인하여 고체산화물 연료전지의 전해질, 센서, 산소투과막 등에 광범위하게 이용되며, 최근에는 반도체 제조에서 고집적 반도체 표면을 나노 크기로 정밀하게 평탄화하는 CMP (Chemical Mechanical Planarization) 공정에서 연마 입자로서 큰 관심을 끌고 있다. 특히, CeO2 입자가 나노크기로 작아지는 경우 단위 질량당 표면적이 증가하여 높은 비표면적을 갖게되어 향상된 물성을 발현할 수 있다. 일반적으로 CeO2 나노입자를 제조하는 방법으로는 침전법, sol-gel법, 수열합성법, 초임계법 등이 있다. 이중 수열합성법은 비교적 낮은 온도(150-250˚C)에서 입자의 결정화가 가능하며, 제조되어진 입자의 크기가 작고 균일하며, 반응시 금속염의 농도, 온도, 시간 등을 조절하면 생성입자의 크기나 결정성을 제어 할 수 있다. 본 연구에서는 대표적인 액상법인 졸겔법과 수열합성법을 이용하여 CeO2 나노입자를 제조하였다. 특히, 반응 조건들에 따른 CeO2 나노입자의 크기와 결정성에 대한 영향을 살펴보았다. 또한, CeO2 나노입자를 코팅에 응용하고자 분산 안정화된 CeO2 sol을 제조하였다. |
| 저자 | 박준성1, 김진수1, 한종희2, 남석우2 |
| 소속 | 1경희대, 2한국과학기술(연) |
| 키워드 | CeO<sub>2</sub> ; 나노입자 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
