| 초록 |
Styrenated Phenol(SP)는 일반적으로 산화방지제나 플라스틱 첨가제로 사용되고 있고 alkylene oxide와 합성을 통해 만들어지는 계면활성제인 SP-A(styrenated phenol alkoxylate)는 반도체 공정에서 현상액으로 사용되고 있다. 기존의 SP는 산 촉매 하에서 반응이 일어나며 SP는 단일성분이 아니라 Mono-Styrenated Phenol(MSP), Di-Styrenated Phenol(DSP), Tri-styrenated Phenol(TSP)의 세가지 혼합물로 되어 있어서 합성 조건에 따라 특성 및 조성이 달라지게 된다. 일반적으로 SP합성에 사용되는 황산, 질산, 인산 등의 액체 산촉매는 고온과 강산의 격렬한 반응조건, 낮은 선택도, 수분에 대한 민감성과 중화과정에서 생기는 다량의 염 부산물이 발생하는 문제가 있으며 촉매의 분리가 용이하지 않다. 하지만 실리카 담지 촉매를 사용하면 염 부산물이 생기지도 않고 제품과 분리가 용이하여 추가 공정이 발생하지 않는 장점이 있다. 본 연구에서는 전자 재료용 현상액의 원료로 사용하기 적합한 DSP의 수율을 높이기 위해서 반응온도, 반응시간, 촉매함량, 촉매 소성온도, Phenol 대비 Styrene 적가량을 조절했으며 사용하는 촉매는 SiO2담체에 AlCl3, NiCl2 담지한 후, 소성하여 사용 했고 반응물과 생성물은 GC, 촉매는 XPS를 이용하여 분석하였다. |
